MEMS
Systèmes microélectromééthiques (MEMS)sont des versions intégrées et miniaturisées de systèmes mécaniques et électriques existants, et il est également possible d’utiliser ces systèmes de taille micrométrique pour
nanotechnologieapplications par le biais de
systèmes nanoélectromécaniques(NEMS)
[1]. Le concept de MEMS a été prononcé pour la première fois lors d’une
Microdynamiqueen 1987. Cependant, l’émergence du concept de MEMS s’est faite principalement à la lumière de l’évolution de la
micropuceusine. Parmi ces développements, les technologies de moulage, de revêtement, les méthodes de sculpture humide, les méthodes de sculpture à sec ont rendu possible la construction de micro-dispositifs. La première idée de fabriquer de petits appareils a été proposée par un physicien de renom
Richard Feynmandans un discours de 1959 intitulé
Il y a beaucoup de place en bas.Les dimensions des systèmes micro-électromécaniques varient entre 1 et 100
Micromètres.Les règles de physique standard dans ces petites tailles sont généralement invalides. Dans les structures MEMS, le rapport surface/volume est assez élevé, de sorte que les effets de surface
(forces électrostatiques,mouillage)Dominer les effets de volume
(inertie,masse thermique).Les structures des systèmes micro-électromécaniques se composent de trois parties. Ces sections peuvent être résumées comme suit : la section mécanique, la section d’entraînement qui exécute la section mécanique et la section de détection qui examine le comportement du mouvement mécanique. Les mécanismes d’entraînement MEMS varient en fonction du type d’entraînement donné. Les structures MEMS peuvent être thermiques, électrostatiques, magnétiques, pneumatiques et optiques. La détection se fait généralement par le biais de signaux optiques et électroniques. MEMS est un concept interdisciplinaire dans lequel des études couvrant de nombreuses branches, en particulier les machines-matériaux-électronique, sont principalement menées avec toutes les branches de l’ingénierie et les sciences fondamentales.
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