Smartnoble Wet Cleaning Solution : un nettoyage de précision pour des besoins de microfabrication exigeants

Dans la microfabrication avancée et la production de dispositifs infrarouges (IR), la propreté de la surface est essentielle au rendement et à la fiabilité. Le système de nettoyage humide de pointe de Smartnoble est spécialement conçu pour éliminer les résidus organiques, les ions métalliques et la contamination particulaire à des niveaux microniques et submicroniques, en particulier dans les processus complexes d’emballage de semi-conducteurs et d’optoélectronique.
Cet équipement est idéal pour les applications dans le traitement des plaquettes InSb, la fabrication de dispositifs MCT (HgCdTe/InGaSb), l’assemblage Dewar et d’autres étapes critiques pour le propreté. Conçu pour prendre en charge à la fois le nettoyage par immersion automatique et les opérations de nettoyage manuel, il garantit une flexibilité et un contrôle de processus exceptionnels sur des substrats de grande valeur et des composants de précision.

Caractéristiques clés et points forts techniques

• Double configuration : modules de nettoyage automatique et manuel

1. Le module automatique prend en charge l’élimination de la résine photosensible, la gravure et le développement post-exposition
2. Le module manuel intègre la pulvérisation, les bulles, l’agitation par ultrasons et l’oscillation du substrat pour un nettoyage amélioré des géométries complexes
3. La conception modulaire prend en charge des plaquettes ou des supports de 6 et 8 pouces, avec des options de disposition personnalisables

• Contrôle intelligent des processus

1. Surveillance en temps réel des concentrations de produits chimiques, du dosage, des niveaux d’eau de rinçage et de l’état des réservoirs
2. Contrôle automatisé de la température, du calage et de l’échange de fluide
3. Compatible avec les plates-formes industrielles Ethernet et IIoT pour une intégration transparente avec les systèmes d’usine intelligente

• Compatibilité et fiabilité certifiées des salles blanches

1. Conçu pour les salles blanches de classe 100 à 1 000
2. Structure antistatique et résistante à la corrosion, avec un temps de fonctionnement élevé du système et de faibles besoins d’entretien
3. Entièrement conforme aux normes de fabrication internationales (par exemple, ISO, IATF)