Smartnoble Machine à chanfreiner les bords de plaquettes entièrement automatique de haute précision

                                          
La machine automatique à chanfreiner les bords de plaquettes Smartnoble est une solution de traitement de haute précision conçue spécifiquement pour l’étape de fabrication des plaquettes dans l’industrie des semi-conducteurs. Il façonne avec précision des plaquettes non circulaires ou à bords rugueux en plaquettes circulaires standard tout en effectuant un chanfreinage précis des bords. Cet équipement joue un rôle essentiel dans l’amélioration du rendement des plaquettes et la sécurité de la production.
Le système combine une meule à grande vitesse avec une plate-forme de contrôle de mouvement de précision pour fournir un chanfreinage efficace et uniforme des bords. Les plaquettes sont placées sur une platine rotative, où le broyage est appliqué sous une pression et une distance surveillées en temps réel, ce qui permet un traitement adaptatif pour des plaquettes de divers matériaux et conditions.
Cette machine est idéale pour le traitement des plaquettes, le pré-emballage de circuits intégrés et la reconstruction de plaquettes, en particulier pour les substrats fragiles tels que le SiC et le GaN.

Caractéristiques clés

• Prend en charge des diamètres de plaquettes allant jusqu’à 120 mm, ce qui est idéal pour les tailles de plaquettes courantes.
• Gère une épaisseur de plaquette de 0,7 à 1,1 mm, compatible avec divers matériaux, y compris SiC et GaN.
• Équipé d’une meule à grande vitesse fonctionnant jusqu’à 6000 tr/min pour une efficacité et une précision équilibrées.
• Atteint une tolérance de largeur de chanfrein de ±50 μm et une précision de diamètre de ±30 μm.
• Utilise une plate-forme d’entraînement de précision et une table de travail rotative pour assurer un chanfreinage uniforme à 360 °.
• Entrée/sortie de plaquettes entièrement automatisée, compatible avec les systèmes de production en ligne.

Smartnoble continue de donner aux fabricants de semi-conducteurs la précision, la fiabilité et l’efficacité, en maximisant le rendement de la production et en minimisant la variabilité des processus.
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