MEMS
Systèmes microélectrométhiques (MEMS)sont des versions intégrées et miniaturisées des systèmes mécaniques et électriques existants, et il est également possible d’utiliser ces systèmes de taille micronique pour
nanotechnologieles demandes par l’entremise
systèmes nanoélectromécaniques(NEMS)
[1]. Le concept de MEMS a été prononcé pour la première fois lors d’une
microdynamiqueen 1987. Toutefois, l’émergence du concept de MEMS s’est faite principalement à la lumière de l’évolution de la
micropuceusine. Parmi ces développements, le moulage, les technologies de revêtement, les méthodes de sculpture humide, les méthodes de sculpture à sec ont rendu possible la construction de micro-dispositifs. La première idée de fabrication de petits appareils a été proposée par un physicien de renom
Richard Feynmandans un discours de 1959 intitulé
Il y a beaucoup de place en bas.Les dimensions des systèmes micro-électromécaniques varient entre 1 et 100
Micromètres.Les règles de physique standard dans ces petites tailles ne sont généralement pas valides. Dans les structures MEMS, le rapport surface/volume est assez élevé, de sorte que les effets de surface
(forces électrostatiques,mouillage)dominer les effets de volume
(inertie,masse thermique).Les structures des micro-systèmes électromécaniques se composent de trois parties. Ces sections peuvent être résumées comme la section mécanique, la section d’entraînement qui exécute la section mécanique et la section de détection qui examine le comportement du mouvement mécanique. Les mécanismes de lecteur MEMS varient en fonction du type de lecteur donné. Les structures MEMS peuvent être entraînées thermiquement, électrostatiquement, magnétiquement, pneumatiquement et optiquement. La détection se fait généralement par des signaux optiques et électroniques. MEMS est un concept interdisciplinaire dans lequel les études couvrant de nombreuses branches, en particulier machines-matériaux-électronique, sont principalement réalisées avec toutes les branches de l’ingénierie et des sciences fondamentales.
